真空碳管燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過(guò)燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場(chǎng)及柵線燒結(jié)。為了保證粉末壓坯在燒結(jié)過(guò)程中的脫蠟（潤(rùn)滑劑或成形劑）、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進(jìn)行，燒結(jié)時(shí)需要對(duì)燒結(jié)溫度、保護(hù)氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進(jìn)行的控制。
真空碳管燒結(jié)爐主要用于工業(yè)陶瓷、結(jié)構(gòu)陶瓷、金屬陶瓷、硬質(zhì)合金行業(yè)作為材料在氣氛和壓力條件下的燒結(jié)設(shè)備。系周期作業(yè)式電爐，它是以優(yōu)質(zhì)石墨作發(fā)熱體的高溫、高真空電阻爐，額定溫度為2000℃。在特殊需要的情況下，允許在保護(hù)氣氛中，短時(shí)間工作到2400℃-2500℃?？晒┙饘?、難熔化合物及陶瓷材料等在真空或保護(hù)氣氛中加熱之用。
真空碳管燒結(jié)爐主要由爐體、爐門、加熱與保溫及測(cè)溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、液壓系統(tǒng)等組成。
1、爐體：雙層304不銹鋼水冷結(jié)構(gòu)，并經(jīng)精密拋光，有利于縮短抽氣時(shí)間，且便于清潔；
2、爐蓋：雙層水冷的結(jié)構(gòu)，內(nèi)外壁均為304并經(jīng)精密拋光處理，中間通冷卻水。
3、加熱保溫及測(cè)溫系統(tǒng)：采用鉬絲加熱，氧化鋁絕緣柱組成筒形結(jié)構(gòu)形式；隔熱屏采用由內(nèi)層鉬片(5層)外層為1層不銹鋼片組成6層隔熱屏，屏蓋與屏底的材料與之相同，也采用6層，特點(diǎn)潔凈度高，能快速加熱,透氣性好。上下壓頭采用高強(qiáng)度石墨。測(cè)溫元件采用鎢錸熱電偶，可控硅控溫，配置有PID功能儀表，數(shù)顯表，具有超溫聲光報(bào)警功能，也可選用PLC觸摸屏自動(dòng)控制，并保留歷史數(shù)據(jù)，便于分析燒結(jié)過(guò)程。
4、真空系統(tǒng)：由油擴(kuò)散泵、羅茨泵、機(jī)械泵配電磁壓差閥（防止因突然停電、機(jī)械泵油倒灌）充氣閥、放氣閥、真空蝶閥、真空壓力表（±Pa）波紋管、真空管路和支架等組成。
5、充氣系統(tǒng)：由各種管道及閥門組成，并配有電磁放氣閥、壓力傳感器，當(dāng)爐內(nèi)壓力高于安全值時(shí)會(huì)自動(dòng)放氣，充氣管路上裝有針閥，可控制充氣量，用于燒結(jié)工藝所需充氬氣、氮?dú)獾臍夥找螅?/div>
6、水冷系統(tǒng)：由各種閥管道相關(guān)裝置組成且設(shè)有斷水聲光報(bào)警自動(dòng)切斷加熱源等功能。
7、充氣裝置：主要由充氣閥、流量計(jì)、充氣管道等組成，用于燒結(jié)工藝所需充氬氣、氮?dú)獾臍夥找螅?/div>
8、控制系統(tǒng)：由可編程控制器PLC、溫控儀、真空計(jì)、電壓電流表、直流穩(wěn)壓電源、空開、接觸器、繼電器、按鈕、指示燈等組成，以實(shí)現(xiàn)供電、控制、記錄、監(jiān)視、報(bào)警保護(hù)功能。
9、液壓系統(tǒng)：采用電動(dòng)輸入方式。由液壓站配有進(jìn)口比例閥、壓力傳感器、位移顯示器采用光柵尺（測(cè)距精度0.02mm）、液壓缸等相關(guān)液壓裝置，壓力調(diào)節(jié)半自動(dòng)化、可通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)。儀表可設(shè)定自動(dòng)調(diào)節(jié)壓力，并能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)壓、保壓。
